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沉積溫度對類金剛石涂層表面形貌和性能的影響（一）

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采用直流等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（DC-PECVD）技術(shù)，在不同溫度下與YG8硬質(zhì)合金基體上沉積了類金剛石（DLC)涂層，探討了沉積溫度對

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