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采用固相晶化和準(zhǔn)分子激光晶化制備結(jié)晶硅薄膜的對比

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為制備高質(zhì)量的結(jié)晶硅薄膜，以工業(yè)玻璃為襯底，利用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積工藝制備了非晶硅

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